W和W/Ti合金靶材的应用及其制备技术 - 北京科技大学

W和W/Ti合金靶材的应用及其制备技术

Application and manufacturing technology of tungsten and tungsten-titanium targets

摘要

摘要:近年来随着磁控溅射技术的应用日趋广泛,对各种高纯金属及合金溅射靶材的需求量也愈来愈大.本文简要介绍了当前W和W/Ti合金靶材的应用和制备方法等,对W和W/Ti合金靶材未来的制备技术进行了展望.

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